理研計(jì)器永久的目標(biāo)
為您營(yíng)造安心工作環(huán)境
CREATE A SAFE WORKING ENVIRONMENT FOR YOU
理研計(jì)器永久的目標(biāo)
為您營(yíng)造安心工作環(huán)境
CREATE A SAFE WORKING ENVIRONMENT FOR YOU
用于C4F6?C5F8?COS的檢測(cè)器 TP-70DGⅡ
特征
通過(guò)采用含有催化劑的熱分解器，實(shí)現(xiàn)減少干擾帶來(lái)的影響用途
用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠內(nèi)的C4F6/C5F8/COS商品目錄
|
產(chǎn)品類別 |
固定式 |
|
類型 |
智能型檢測(cè)部 |
|
檢測(cè)對(duì)象氣體 |
C4F6/C5F8/COS |
|
檢測(cè)原理 |
催化＋定電位電解式 |
|
檢測(cè)范圍 |
0～5ppm（C4F6?C5F8） |
|
報(bào)警設(shè)定值 |
1st：2ppm/2nd:4ppm（C4F6?C5F8） |
|
檢測(cè)方式 |
泵吸式 |
|
報(bào)警種類 |
氣體報(bào)警/故障報(bào)警 |
|
報(bào)警內(nèi)容 |
1st：ALM1指示燈閃爍、或亮燈(紅色) |
|
電源 |
AC100～240V±10% |
|
外形尺寸?重量 |
約180(W)×225(H)×285(D)mm（不包含突起部分） |
|
使用時(shí)的溫濕度范圍 |
20～40℃（無(wú)驟變） |