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砷烷特氣危害大？理研計(jì)器有辦法!
發(fā)布時(shí)間：2023-12-22
半導(dǎo)體行業(yè)中的砷烷氣體
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是國(guó)民經(jīng)濟(jì)的重要組成部分，而電子特氣是集成電路（IC）、平面顯示器件（LCD、LED、OLED）、太陽(yáng)能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料。高純電子特氣是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展所需的核心原料之一，在半導(dǎo)體材料需求中占比排名第二，達(dá)到15%左右。
正是這些氣體通過(guò)不同的制程使硅片具有半導(dǎo)體性能，又決定了集成電路的性能、集成度、成品率。即使是某一種某一個(gè)特定雜質(zhì)超標(biāo)，都將導(dǎo)致質(zhì)量嚴(yán)重缺陷，嚴(yán)重時(shí)會(huì)因不合格氣體的擴(kuò)散，導(dǎo)致整個(gè)生產(chǎn)線被污染，乃至生產(chǎn)全面癱瘓。因此，電子特氣是電子制造過(guò)程關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，是名副其實(shí)的電子工業(yè)“血液”。
高純砷烷在半導(dǎo)體集成電路中，通過(guò)電子特氣系統(tǒng)，安全穩(wěn)定的參與外延硅的N型摻雜、硅中N型擴(kuò)散、離子注入、生長(zhǎng)砷化鎵（GaAs）、磷砷化鎵（GaAsP）以及與某些元素形成化合物半導(dǎo)體。
什么是砷烷？
砷化氫（化學(xué)式：AsH3）又稱砷化三氫、砷烷、胂，它是砷和氫的高毒性分子衍生物，是簡(jiǎn)單的砷化合物，常溫常壓下為無(wú)色，有大蒜氣味但無(wú)明顯刺激性的劇毒可燃?xì)怏w，燃燒呈藍(lán)色火焰并生成三氧化二砷，遇明火、氯氣、硝酸、(鉀+氨)會(huì)爆炸。
任何事物都有兩面性，砒霜有毒但可治療白血病，砷烷雖有毒，但它是半導(dǎo)體工業(yè)不可或缺的材料，盡管它的殺傷力很強(qiáng)，但是在工業(yè)生產(chǎn)中仍被廣泛使用↓↓↓
砷化氫氣體的廣泛應(yīng)用
01
高純砷烷是高純電子氣體的一種，是電子工業(yè)的重要基礎(chǔ)材料之一，在半導(dǎo)體工業(yè)中主要用于外延硅的N型摻雜、硅中的N型擴(kuò)散、離子注入、生長(zhǎng)磷砷化鎵(GaAsP)以及與ⅢA/ⅤA族元素形成半導(dǎo)體化合物等。
02
砷烷也是制造半導(dǎo)體化合物砷化鎵的重要材料，由砷化鎵(GaAs)集成電路所提供的高速度和高頻率是其它器件所不能比擬的，由它制備的微波變頻器件和光電器件，廣泛用于導(dǎo)彈制導(dǎo)、雷達(dá)和新一代衛(wèi)星通訊等裝置。
03
砷烷也用于有機(jī)合成、軍用毒氣，及應(yīng)用于科研或某些特殊實(shí)驗(yàn)中。
半導(dǎo)體器件和集成電路制造砷烷摻雜工藝主要工藝流程：
1.準(zhǔn)備摻雜氣體：
按照所需比例將砷烷等摻雜氣體混合，并通過(guò)流量控制器精確調(diào)節(jié)氣體流量
2.芯片裝載：
將待摻雜的芯片裝載到晶圓臺(tái)上，并將其固定在摻雜設(shè)備的腔室中。
3.加熱：
使用加熱器將芯片加熱到制定溫度，確保其表面能夠吸附摻雜氣體。
4.清洗：
停止摻雜氣體供應(yīng)，排出殘余氣體，并通入氮?dú)饣蚱渌逑礆怏w，對(duì)芯片表面進(jìn)行清潔處理。
5.封裝：
從摻雜設(shè)備中取出芯片，并進(jìn)行封裝。
砷化氫氣體泄漏主要危害的危害
半導(dǎo)體器件和集成電路制造砷烷泄漏主要危害如下：
砷烷屬于可燃易爆氣體，爆炸極限為4.5%~100%VOL，泄漏積聚到環(huán)境空氣中的砷烷氣體濃度處于此范圍內(nèi)時(shí)，遇明火、電弧、火花、高溫等就會(huì)發(fā)生爆炸。
砷化氫在空氣中主要以氣態(tài)形式存在，其毒性極強(qiáng)。在空氣中濃度為0.5mg/m3時(shí)即可引起急性中毒，國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《GBZ2.1-2019 工作場(chǎng)所有害因素職業(yè)接觸限值 第1部分：化學(xué)有害因素》中，砷化氫的職業(yè)接觸限值MAC為0.03mg/m3，臨界不良健康效應(yīng)為強(qiáng)溶血作用，多發(fā)性神經(jīng)炎。
工作場(chǎng)所空氣中的AsH3允許濃度(TLV-TWA)為0.05ppm。
● 輕度中毒有頭暈、頭痛、乏力、惡心、嘔吐、關(guān)節(jié)及腰部酸痛、皮膚及鞏膜輕度黃疸等癥狀。尿樣可能呈醬油色，可能伴有肝臟損害。
● 重度中毒發(fā)病急劇，有高熱、昏迷、抽搐、紺紫、鞏膜及全身重度黃疸等癥狀，少尿或無(wú)尿。同時(shí)，尿樣呈深醬色，出現(xiàn)急性腎功能衰竭，并伴有肝臟損害。
2017年10月27日，世界衛(wèi)生組織國(guó)際癌癥研究機(jī)構(gòu)公布的致癌物清單初步整理參考，砷和無(wú)機(jī)砷化合物在1類致癌物清單中。
如何預(yù)防砷烷的危險(xiǎn)性？
使用理研計(jì)器砷化氫氣體檢測(cè)儀
在實(shí)際工作中無(wú)論是從影響人體健康以及環(huán)保因素考慮，還是從保證安全生產(chǎn)的角度考慮，都必須對(duì)工作空間中這些氣體的環(huán)境濃度進(jìn)行有效的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，在使用和儲(chǔ)藏該產(chǎn)品的區(qū)域或其鄰近區(qū)域應(yīng)安裝氣體檢測(cè)儀。
砷化氫毒性大、易爆炸，泄漏后果不堪設(shè)想，為避免氣體泄漏造成人身威脅，我們可選擇砷化氫氣體檢測(cè)報(bào)警器來(lái)預(yù)防發(fā)生氣體泄漏中毒事件，砷化氫氣體檢測(cè)儀可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)砷化氫氣體的濃度，并及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題及采取措施，確保工作環(huán)境和實(shí)驗(yàn)環(huán)境的安全。
理研獨(dú)特技術(shù)壁壘
讓每件產(chǎn)品都能安全保障
針對(duì)AsH3氣體，理研計(jì)器研發(fā)改良出檢測(cè)范圍在【0~50ppb】的傳感器，具有獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，對(duì)應(yīng)AsH3容許濃度2倍的10ppb警報(bào)「★理研計(jì)器電化學(xué)原理的傳感器」，★更加精確檢測(cè)出微量氣體的濃度值；受大氣中干擾氣體影響導(dǎo)致★零點(diǎn)變動(dòng)減少；★穩(wěn)定高效保障氣體安全！
在生產(chǎn)安全領(lǐng)域，針對(duì)砷烷氣體管理，理研計(jì)器有TP-70D、GD-70D系列、GD-K88i、GD-K88Di和SC-8000等固定在線與便攜式安全檢測(cè)產(chǎn)品，
● GD-70D氣體檢測(cè)儀能實(shí)時(shí)監(jiān)控氣體濃度，并且配有高清液晶大屏顯示，當(dāng)濃度超過(guò)最低報(bào)警值的時(shí)候，就會(huì)進(jìn)行聲光報(bào)警，及時(shí)發(fā)現(xiàn)危險(xiǎn)。
● GD-K88i與GD-K88Di廣泛適用于半導(dǎo)體電子、液晶車間，具有防爆特性
● TP-70D是一款智能型可移動(dòng)式氣體檢測(cè)儀,適用于特殊材料氣體等的泄漏檢測(cè)以及工廠內(nèi)的環(huán)境監(jiān)測(cè)。
● SC-8000便攜式特殊材料氣體檢測(cè)儀，常用與半導(dǎo)體工廠的巡查、測(cè)漏等，具有本質(zhì)安全型防爆結(jié)構(gòu)。
結(jié)語(yǔ)
理研計(jì)器砷化氫氣體檢測(cè)儀以其快速、準(zhǔn)確地檢測(cè)砷化氫氣體的能力，在半導(dǎo)體工業(yè)、化工行業(yè)、制藥行業(yè)和實(shí)驗(yàn)室等領(lǐng)域中都具有非常重要的應(yīng)用價(jià)值，可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)砷化氫氣體的濃度，及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題并采取措施，確保工作環(huán)境和實(shí)驗(yàn)環(huán)境的安全。
安全生產(chǎn)是關(guān)系人民群眾生命財(cái)產(chǎn)安全的大事，是經(jīng)濟(jì)社會(huì)協(xié)調(diào)發(fā)展的標(biāo)志。在生產(chǎn)過(guò)程中，通過(guò)安裝氣體檢測(cè)報(bào)警裝置，時(shí)刻檢測(cè)有毒有害氣體泄漏濃度，將風(fēng)險(xiǎn)隱患控制在源頭。
理研計(jì)器擁有600多種氣體傳感器和100多種氣體探測(cè)器。未來(lái)，我們?nèi)詫⒉粩嚅_發(fā)新產(chǎn)品、研發(fā)各項(xiàng)新功能，使得氣體檢測(cè)儀在應(yīng)用上更先進(jìn)、更適合日新月異的市場(chǎng)環(huán)境，致力于為用戶提供一個(gè)可靠、準(zhǔn)確、安全的氣體檢測(cè)方案。
理研計(jì)器必將在未來(lái)氣體產(chǎn)業(yè)的生命安全畫卷中，添上濃墨重彩的一筆，守護(hù)人們的幸福生活，為生產(chǎn)和生活不斷創(chuàng)造新價(jià)值！為用戶選配適合原理的檢測(cè)儀，用成熟的工藝完善氣體檢測(cè)系統(tǒng)。